مرشحات الهواء صناعة أشباه الموصلات
يمكن أن يؤدي التصاق الغبار بالدوائر المتكاملة إلى انقطاع الاتصال وقصر الدائرة، ويؤثر الغبار بشكل مباشر على إنتاجية المنتج. اليوم، تعد صناعة أشباه الموصلات (مصانع الرقائق) هي الأكثر تطلبًا من حيث نظافة الهواء في بيئات الإنتاج، كما أن لديها أيضًا المتطلبات الأكثر صرامة لمرشحات الهواء.
الشكل التقليدي للتهوية في مصنع الرقائق هو "التدوير الكبير"، حيث يتم تغطية سقف الورشة بالكامل بمرشحات HEPA، والأرضية بأكملها عبارة عن شبكة هواء رجوع. في الوقت الحاضر، تستخدم بعض ورش العمل في مصانع الرقائق وحدات FFU (''وحدات تصفية المروحة'')، وهي مجهزة بمراوح خاصة بها، وكلا النوعين من التدوير الكبير ووحدات FFU قادرة على تحقيق نظافة كافية، مع بعض الاختلافات فقط في إدارة التشغيل و استهلاك الطاقة.
يتم فحص واختبار كل من مرشحات HEPA وFFUs وحدة تلو الأخرى قبل مغادرة المصنع.
تعد جزيئات ملح البحر المحمولة جوًا العدو اللدود لجميع الصناعات الإلكترونية، لكن غبار ملح البحر المحمول جوًا يحتوي على جزيئات كبيرة نسبيًا يمكن تصفيتها بواسطة المرشحات العادية. تم تطوير المناطق الساحلية اقتصاديًا وتختار بعض الصناعات الإلكترونية تحديد مواقع مصانعها هناك، الأمر الذي يتطلب إنفاق المزيد من المال على المرشحات.
يمكن لتقنية الترشيح الحالية أن تقلل من تركيز الغبار في غرفة الأبحاث إلى ما يقرب من الصفر، نظيفة كما تريدها. عندما يكون عرض الخط على الشريحة صغيرًا مثل 0.5 ميكرومتر، تصبح الملوثات الكيميائية الموجودة في الهواء خطرًا كبيرًا على الإنتاج. ونتيجة لذلك، تكون المرشحات الكيميائية مطلوبة بشكل شائع في أنظمة تكييف الهواء لمصانع الرقائق ذات عرض الخطوط أقل من 0.5μm. مبدأ وعملية تصنيع المرشحات الكيميائية ليست معقدة، بل هو مرشح الكربون المنشط.
قد تكون مصادر الملوثات الكيميائية: الهواء الخارجي، والعملية نفسها، والأشخاص، ومواد الديكور. في معظم الحالات، لا يستطيع المصممون والعاملون في الموقع تحديد أنواع الملوثات وتركيزاتها. لذلك، يجب أن تتمتع المرشحات الكيميائية المستخدمة بخاصيتين على الأقل: خصائص الامتزاز واسعة النطاق وكمية كافية من مادة الكربون المنشط. الامتزاز واسع الطيف يعني أنه يمكنه امتصاص أي شيء، والمواد التي يمكن أن يكون لها هذه الوظيفة هي الكربون المنشط الحبيبي الأكثر شيوعًا والأرخص. إذا أمكن تحديد نوع الملوث، فيمكن إخضاع مادة الكربون المنشط للمعالجة الكيميائية المستهدفة لتعزيز قدرة الامتزاز لملوثات معينة.
إن صناعة أشباه الموصلات ليست "صناعة خالية من الدخان" كما هو شائع، كما أنها تعاني من مشاكل بيئية. ونظرًا لكثرة استخدام أحدث العمليات والمواد، يتم استخدام بعض المواد الكيميائية بكميات كبيرة قبل التأكد من سلامتها، وأدنى إهمال يمكن أن يؤدي إلى تلوث كيميائي خطير، سواء للمياه الجوفية أو الهواء. ولأسباب تتعلق بالسلامة، تستخدم بعض الشركات أيضًا مرشحات كيميائية في أنظمة هواء العادم الخاصة بها.
